［AI関連発明］エッチング終点検出装置（特許6761910）

 （登録例１５）エッチング終点検出装置

【請求項１】
  チャンバ内に配置された基板に処理を施す基板処理装置のプロセスログデータを取得するプロセスログ取得部と、
  前記プロセスログ取得部によって取得したプロセスログデータに基づき、前記チャンバ内に生じた光に関わる測定値以外の入力データを作成し、前記入力データに基づき、前記基板処理装置におけるエッチングの終点を検出する検出部と、を備え、
  前記検出部は、前記入力データが入力され、前記基板処理装置におけるエッチングの終点前後の何れであるかを出力する、機械学習を用いて生成された分類器を具備する、
ことを特徴とするエッチング終点検出装置。

　従来はエッチングの終点を検出するために分光器が用いられていたが、この発明では、「光に関わる測定値以外」の入力データを用いて終点を検出する。検出方法としては、機械学習で生成された分類器に画像データを入力して終点の前後のいずれであるかを検出する。
　引例は、プラズマエッチングの終点を検出するための方法であって、取得されたプロセスログを終点である場合に「１」、終点以外では「０」を出力するニューラルネットワークに適用して、終点を検出することが記載されている。
　出願人は、引例に係る発明では、終点にあるときだけ「１」、終点の前や終点の後では「０」を出力するものであり、終点の前と終点の後とは区別されないと主張し、この相違が認められて特許査定を得た。

　エッチングをしすぎないように終点が求まればよいので、引例のように終点を求めることが通常であると思われるところ、「終点前後の何れであるかを出力する」というのは珍しいのかもしれない。

　この例は、機械学習で生成された分類器を用いることまでは同じであるが、求めている対象が異なるために特許になった例である。